Графитовая теплоизоляция

Графитовая теплоизоляция

При этом графитовая теплоизоляция десорбирует атмосферные газы (N2, 02 и др.), изменяя состав газовой атмосферы печи и, следовательно, концентрацию примесей в растущих монокристаллах. Например, концентрация азота в монокристаллах от концентрации азота в атмосфере печи находится в следующем отношении, где ND — концентрация азота в a-SiC; р — концентрация азота в атмосфере печи. В настоящей работе приводятся результаты испытаний полунепрерывного способа выращивания монокристаллов a-SiC методом сублимации. Для обычной печи выращивания монокристаллов a-SiC нами было сконструировано специальное шлюзовое устройство.

Для обычной печи выращивания монокристаллов a-SiC нами было сконструировано специальное шлюзовое устройство. Схематически вместе с печью оно показано на рис. Устройство представляет собой шлюзовую камеру, снабженную специальным затвором для соединения ее с печью, механизмом подъема и опускания тигля. Шлюзовая камера имеет дверцу и соединена с откачивающей и газовой системами печи. Шиберный затвор 9 позволяет плотно перекрывать объем шлюзовой камеры от объема печи. Для предохранения уплотнительных элементов затвора от воздействия высоких температур как со стороны печи, так и со стороны шлюзовой камеры имеются водоохлаждаемые экраны.

1 звезда2 звезды3 звезды4 звезды5 звезд (Еще не оценили)
Загрузка ... Загрузка ...

Оставить комментарий

Почта (не публикуется) Обязательные поля помечены *

Вы можете использовать эти HTML теги и атрибуты: <a href="" title=""> <abbr title=""> <acronym title=""> <b> <blockquote cite=""> <cite> <code> <del datetime=""> <em> <i> <q cite=""> <strike> <strong>

Подтвердите, что Вы не бот — выберите самый большой кружок: